Erosion of a-C:H in the afterglow of ammonia plasma

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Zeitschrift:
Journal of Nuclear Materials

ISSN: 0022-3115

Datum der Publikation: 2016

Ausgabe: 475

Seiten: 237-242

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.JNUCMAT.2016.04.011 GOOGLE SCHOLAR
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