Estudio de los óxidos de cerio (CeO2) y aluminio (Al2O3) como recubrimientos ópticos

Zusammenfassung

En esta memoria se han estudiado los metodos de caracterizacion de los sistemas formados por una lamina depositada sobre un sustrato. Se han considerado dos casos dependiendo del espesor de las laminas: Lamina delgada y lamina gruesa. Se han obtenido las expresiones para calcular, en ambos casos las constantes opticas de las laminas depositadas. Este estudio ha sido aplicado a dos materiales como son el oxido de cerio y el oxido de aluminio, que presentan unas propiedades interesantes para su utilizacion en componentes opticos. Se han estudiado las constantes opticas (indice de regraccion y coeficiente de extincion) en funcion de los parametros de deposicion. Este estudio ha sido completado con otras tecnicas de caracterizacion complementarias como son: Espectroscopia infrarroja, difraccion de rayos x, espectrometria de retrodispersion (rbs) y microscopia de fuerzas atomicas (afm). A partir de los indices de refraccion calculados para ambos materiales se han simulado alguno de los dispositivos opticos mas utilizados. Se ha estudiado la influencia que las condiciones de deposicion tienen sobre la respuesta espectral de este tipo de dispositivos.