Measurement of sputtered beryllium yield and angular distribution during nanostructure growth in a helium plasma

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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 1089-7550,  0021-8979

Año de publicación: 2017

Volumen: 122

Número: 11

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.5002114 GOOGLE SCHOLAR
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