Synthesis of smooth amorphous thin films of silicon carbide with controlled properties through pulsed laser deposition

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Revista:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 1432-0630,  0947-8396

Ano de publicación: 2022

Volume: 128

Número: 5

Tipo: Artigo

DOI: 10.1007/S00339-022-05499-9 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso aberto editor
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