The assessment of micro-analytical techniques to the semiconductor manufacturing environment

  1. Corbacho, J.L.
  2. Urquia, A.
  3. Fernández, A.
  4. Sanchez, G.
  5. Recio, M.
  6. Martin, V.
  7. Barbado, F.
  8. Morilla, C.
  9. Riloba, A.
  10. De la Hoz, J.
Col·lecció de llibres:
Solid State Phenomena

ISSN: 1012-0394

Any de publicació: 1998

Volum: 63-64

Pàgines: 383-394

Tipus: Article

DOI: 10.4028/WWW.SCIENTIFIC.NET/SSP.63-64.383 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus