The assessment of micro-analytical techniques to the semiconductor manufacturing environment

  1. Corbacho, J.L.
  2. Urquia, A.
  3. Fernández, A.
  4. Sanchez, G.
  5. Recio, M.
  6. Martin, V.
  7. Barbado, F.
  8. Morilla, C.
  9. Riloba, A.
  10. De la Hoz, J.
Colección de libros:
Solid State Phenomena

ISSN: 1012-0394

Ano de publicación: 1998

Volume: 63-64

Páxinas: 383-394

Tipo: Artigo

DOI: 10.4028/WWW.SCIENTIFIC.NET/SSP.63-64.383 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus