Synthesis of smooth amorphous thin films of silicon carbide with controlled properties through pulsed laser deposition

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Revista:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 1432-0630,  0947-8396

Año de publicación: 2022

Volumen: 128

Número: 5

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/S00339-022-05499-9 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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